大氣微波等離子清洗機優(yōu)點

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2025-04-23

直流高壓放電等離子體必然有電極,電極的引入使得其在產生等離子體的同時不可避免的損傷電極或者使得電極中的材料對等離子體作用樣本產生污染,再加之這類等離子體具有很高的電壓,因此被限制了適用范圍。射頻等離子體源中的許多結構可以避免電極污染,但是其產生等離子體的電離度和等離子體密度依舊是偏低的,且低頻下所需的電場很高,對人而言依舊存在不安全性。將電源頻率進一步提高,人們很自然地想到了微波等離子體源。微波是指頻率從300MHz到3000GHz的電磁波,根據中華人民共和國及國際無線電有關組織的規(guī)定,民用的微波能應用主要集中在915MHz及2.45GHz附近的兩個頻段上。

微波激發(fā)等離子體是一種新的等離子體激發(fā)方法,工作氣體被微波中不斷高速變化的電場電離為等離子體形態(tài)。在標準大氣下通過微波能作為激發(fā)源激發(fā)產生的等離子體被稱為大氣微波等離子體,通常根據產生等離子體電子溫度的差異,將大氣微波等離子體分為熱等離子體和冷等離子體。大氣微波等離子體清洗機是產生低溫大氣等離子體射流的裝置，結構相對簡單且操作容易;并且能夠產生低溫大氣等離子體射流于開放的空氣環(huán)境中,不需要真空系統,減少了設備的投入,降低了制作與維修成本。

大氣微波等離子清洗機優(yōu)點

低溫大氣微波等離子清洗機具有傳統的微波等離子體優(yōu)點及電感耦合等離子體的優(yōu)點,同時也克服了兩者的一些缺陷。因而,低溫大氣微波等離子清洗機具有如下特點:

1、由于微波放電與直流、交流以及射頻放電相比,具有更高的電子溫度和更低的工作壓強,因而可以提供更高的電離度及離解度。

2、低溫大氣微波等離子體沒有高壓鞘層以及離子壁濺射,放電時沒有內部電極,炬焰也不會與炬管進行接觸,且炬焰根部溫度比較低,因此不會對電極造成腐蝕,降低了電極材料對微波放電產生等離子體的污染。

3、低溫大氣微波等離子體清洗機具有較強的激發(fā)能力,在開放的大氣環(huán)境中能夠以氬氣為工作氣體產生穩(wěn)定的等離子體射流。

4、由于低溫大氣微波等離子體清洗機能夠在大氣環(huán)境中產生等離子體射流,且空氣中具有N2和O2等物質的存在,因而,其具有復雜的發(fā)射背景。

5、低溫大氣微波等離子體清洗機可以穩(wěn)定產生等離子體的氣體壓強范圍比直流或射頻放電更寬。