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反應(yīng)離子刻蝕(RIE) 等離子體羥基化改性 等離子刻蝕方式分類 微波ECR等離子體 光刻膠去膠工藝 薄膜刻蝕技術(shù) 氣體放電等離子體 等離子體產(chǎn)生途徑 氧等離子體 等離子體刻蝕技術(shù) 羧基的表面接枝 高密度等離子體的生成方 等離子體誘發(fā)自由基 低溫等離子表面處理 射頻等離子體放電 影響粘接效果的界面因素 容性耦合等離子體源 粘接理論 表面張力和表面自由能 低溫大氣高壓等離子體炬 等離子體發(fā)生器 輝光放電等離子體 等離子體診斷 阻抗匹配網(wǎng)絡(luò) 等離子體接枝聚合 CCP電容耦合 等離子體溫度 德拜長度 等離子體射流（APPJ） 等離子鞘層 DBD（介質(zhì)阻擋放電） ICP電感耦合
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