等離子清洗機不發(fā)光不（啟）輝光的可能原因及其解決辦法

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-10-10

輝光放電是放電等離子體中最常見的一種放電形式，同時輝光放電也是放電形式中放電最穩(wěn)定的放電形式。等離子清洗機是在低氣壓下，反應氣體在射頻功率的激發(fā)下，產生電離并形成等離子體，等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團（Radicals）。

在使用等離子清洗機的過程中，客戶可能會碰到設備不發(fā)光，或者無法啟輝的情況出現(xiàn)。下面就為大家提供一些建議，在碰到等離子清洗機不發(fā)光時的自檢思路與解決方法。

等離子清洗機無法起輝原因和處理措施：

（1）射頻電源故障，檢查射頻源電源功率輸出是否正常。
（2）反應氣體進氣量小，檢查氣體流量計是否正常。若正常，則加大進氣量進行試驗。
（3）腔體極板清潔度不夠，用萬用表測量腔體上下極板的對地電阻，正常值應在數(shù)十兆歐以上；若異常，則清潔腔體極板。
（4）匹配偏差太大，可以通過自動匹配進行調節(jié)。如不能進行自動調節(jié)，則可能是電機卡住，匹配電容變形，或者聯(lián)軸器松動，需做故障相應維修。
（5）真空度太差，檢查腔體真空度是否正常。

等離子清洗機輝光不穩(wěn)

（1）電源電流不穩(wěn)，測量電源供電是否穩(wěn)定
（2）真空室壓力不穩(wěn)定，檢查腔體真空系統(tǒng)漏率是否正常，檢查腔體進氣量是否正常。
（3）電纜故障，檢查電纜接觸是否良好。

以上就是國產等離子清洗機廠家納恩科技，整理的關于等離子清洗機不輝光的可能原因及其對應解決辦法。如果您也有以上問題，可以自行排查，也可以聯(lián)系我們進行返廠維修。