等離子清洗機(jī)清洗效果不好，可以嘗試從這幾個(gè)方面找原因

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-04-14

影響等離子清洗效果的因素有很多，其中最主要的是電源功率頻率、工作壓強(qiáng)、工作氣體種類以及清洗的時(shí)間。一般來說，等離子清洗機(jī)生產(chǎn)出來，可以調(diào)節(jié)的工藝參數(shù)只有這幾個(gè)，如果等離子清洗效果不好可以從這幾個(gè)方面找找原因，下面是關(guān)于這些工藝參數(shù)的一些說明，有助于更好的理解這些參數(shù)與等離子清洗效果的關(guān)系。

工作氣體：工藝氣體的選擇決定等離子清洗機(jī)制(物理、化學(xué)或物理/化學(xué))。其中反應(yīng)性氣體以氫氣和氧氣等為主。氫氣放電會(huì)產(chǎn)生氫離子，利用氫離子的還原反應(yīng)，可以與基片表面的氧化污染物發(fā)生氧化還原反應(yīng)生成氣態(tài)的水分子；同樣利用氧氣放電產(chǎn)生的氧離子的氧化反應(yīng)，可以與基片表面的有機(jī)污染物發(fā)生氧化還原反應(yīng)生成氣態(tài)水分子和二氧化碳。另一類是非反應(yīng)性氣體，主要包括氦氣、氬氣和氮?dú)獾认∮袣怏w，利用稀有氣體可以定向的提升金屬某一方面的物理性質(zhì)，例如氮?dú)饪梢蕴犭x材料的硬度和耐磨性。利用氬氣或氦氣可以增大等離子體的密度提高清洗的效率，同時(shí)因?yàn)槭窍∮袣怏w可以防止清洗之后的氣體再次被氧化，其主要是利用氬氣和氦氣相對(duì)穩(wěn)定的性質(zhì)，同時(shí)其放電氣壓比較低，更容易形成等離子體而轟擊金屬表面使污染物脫落被真空泵排出；如果在氬氣和氦氣等離子體中摻入適量的氧氣和氫氣等，反應(yīng)性氣體分子可以與高能亞穩(wěn)態(tài)原子碰撞發(fā)生電荷的轉(zhuǎn)換和再結(jié)合，降低了電離和活化氧和氫的電壓和能量，從而產(chǎn)生更多的活性粒子，但摻入氫氣時(shí)要注意控制氫氣質(zhì)量比以防止爆炸。

功率:增加等離子體功率是通過增加等離子內(nèi)的離子密度和離子能量來增加清潔速度和清潔強(qiáng)度?？墒?如果增加功率太多,可能對(duì)基板有害,并且對(duì)結(jié)果也是無效。

時(shí)間:一般來說要在最短的工藝時(shí)間達(dá)到最佳清洗效果,是工藝時(shí)間與功率、壓力和氣體類型平衡。功率的設(shè)置主要要與處理時(shí)間相平衡,增加功率可以降低處理時(shí)間,然而,會(huì)使倉體內(nèi)溫度升高。對(duì)于許多處理工藝來說,較高的溫度相當(dāng)于催化劑,并且會(huì)導(dǎo)致不均勻或刻蝕過度。所以要想優(yōu)化處理工藝,綜合考慮這兩個(gè)參數(shù)是必須的。

等離子清洗的效果會(huì)隨著功率的增大而變好;工作壓強(qiáng)的選擇要根據(jù)清洗的基片進(jìn)行合理選用，當(dāng)以物理作用為主時(shí)應(yīng)減小壓力以增大離子能量，當(dāng)以化學(xué)作用為主時(shí)要增大一些壓力，保證反應(yīng)氣體濃度，清洗時(shí)間也要保證清洗效果的同時(shí)減小能耗。

等離子清洗時(shí)間、電源功率和氣體流量。合理地改變并組合這3個(gè)工藝參數(shù)可以獲得良好的清洗效果,但盲目地改變和組合會(huì)造成時(shí)間、工作量和實(shí)驗(yàn)經(jīng)費(fèi)的浪費(fèi)。如果這三個(gè)工藝參數(shù)都調(diào)整了還是無法獲得更好的清洗效果，可以考慮更換等離子清洗機(jī)的工作頻率，從射頻，中頻，微波這三種頻率中挑選一種更合適的。其他的如果你購買的是大氣常壓等離子清洗機(jī)發(fā)現(xiàn)清洗效果不好，可以嘗試使用真空等離子清洗機(jī)來進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。