真空等離子清洗機不同電極板（陰極陽極）上的清洗效果是否一樣
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-06-09
等離子體通常稱作物質的第四種狀態(tài)，前三種狀態(tài)是固體、液體、氣體，它們是比較常見的，存在于我們周圍。離子體把固體轉變成氣體需要能量一樣，產生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）混合組成。
當氣體到達等離子狀態(tài)時，氣態(tài)分子會裂變成許多高度活躍的粒子。等離子清洗的機理正是依靠處于“等離子態(tài)”的物質的“活化作用”，達到去除物體表面污漬或改善表面活性的目的。
一般的真空等離子清洗機結構如圖1所示。
從圖1中可以看出，真空等離子清洗機主要由真空腔體、高頻等離子電源、真空產生及測量系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進行抽真空到一定的真空度后，通入工藝氣體，在高頻發(fā)生器作用下，在陽極和陰極之間形成高頻交變電場（常用頻率有2種，即：40kHz、13.56MHz），將氣體進行電離，形成等離子體。
等離子清洗機真空腔極板的設置具有很強的靈活性，腔體的每個電極都可以按需配置。將極板后面的連接頭分別連接到陽極座、陰極座或空置，可以將極板分別配置成陽極、陰極或懸浮極，且各個極板間的距離可以根據工件大小和功率需要任意調節(jié)，能滿足多種清洗需求。
等離子清洗機極板配置根據被處理樣品放置在極板上位置不同，共有3種清洗模式。因此真空等離子清洗機不同極板上清洗效果也不一樣。下面將詳細介紹真空等離子清洗機不同極板的清洗模式。
懸浮極模式
將樣品放置于懸浮極上，此時清洗速度最慢，同時因為未在任何電極板上，故對元器件的損傷也最小，適用于對易受電子損傷的敏感器件的清洗。
它的極板排列如圖2所示，從上到下分別為陽極—懸浮極—陰極—陽極—懸浮極—陰極，3個極板為一組
圖2 懸浮極模式
陰極模式
將樣品放置于陰極上，此時清洗速度較快，同時因為未在陰極板上，陰極板實際上直接接地，相對電位較低，故對元器件的損傷也較小，適用于不易受電子損傷的器件進行較強的清洗。
該極板排列如圖3所示，從上到下分別為陽極—陰極—陽極—陰極，2個極板為1組。
圖3 陰極模式
陽極模式
將樣品放置于陽極上，此時清洗速度最快，是最具侵蝕性的加工工藝，因為樣品是直接置于陽極上，故對敏感元器件的損傷可能性最大，適用于對非敏感器件高強度的清洗。
該極板排列如圖4所示，從上到下分別為陰極—陽極—陰極—陽極，2個極板為1組。
圖4 陽極模式
在實際應用中，等離子清洗機需要根據不同的清洗需求來調節(jié)極板的功能及間距，同時調整氣體種類及流量、腔體壓力、射頻功率及時間等，以達到最佳清洗效果。
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