等離子體的診斷方法
文章出處：等離子清洗機(jī)廠(chǎng)家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-09-21
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。
等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，即電離了的“氣體”，它呈現(xiàn)出高度激發(fā)的不穩(wěn)定態(tài)，其中包括離子(具有不同符號(hào)和電荷)、電子、原子和分子。等離子體是由電子、離子等帶電粒子以及中性粒子(原子、分子、微料等)組成的,宏觀(guān)上呈現(xiàn)準(zhǔn)中性,且具有集體效應(yīng)的混合氣體。
等離子體的狀態(tài)可通過(guò)各種方法測(cè)定，通常有等離子體照相、分光法、光譜分析、質(zhì)量分析法和電子探針?lè)ǖ?。其中?br />
（1）等離子體照相利用等離子體自身發(fā)射的光(紅外線(xiàn)、可見(jiàn)光、紫外線(xiàn)、X射線(xiàn))來(lái)照相,可以得到發(fā)光區(qū)的宏觀(guān)圖像結(jié)構(gòu)及其變化。
（2）分光法包括發(fā)光分光法和吸光光度法。用吸光光度法有可能對(duì)發(fā)光分光法不能測(cè)定的位于基態(tài)附近能態(tài)的原子團(tuán)進(jìn)行認(rèn)定。
（3）光譜分析是等離子體診斷中應(yīng)用最廣泛的一種方法。利用長(zhǎng)期以來(lái)物理學(xué)和化學(xué)實(shí)驗(yàn)所積累的對(duì)物質(zhì)發(fā)光的光譜數(shù)據(jù)，結(jié)合理論分析，能確定等離子體的電子和離子溫度、數(shù)密度、速度分布、成分等多種物理性質(zhì)。
（4）質(zhì)量分析法可以直接測(cè)定等離子體中的氣體種類(lèi)，特別是各種離子。通常用差壓排氣的方法將等離子體導(dǎo)入質(zhì)譜儀中進(jìn)行質(zhì)量分析，能夠?qū)Φ入x子體中的基團(tuán)進(jìn)行鑒定，還能與能量分析儀組合測(cè)定能量。
（5）直流輝光放電時(shí)采用電子探針?lè)ǎ哳l放電或微波放電時(shí)采用雙電子探針?lè)ā?br />
（6）此外，氣相電子順磁共振（EPR）、激光誘導(dǎo)熒光法（LIF）、激光雙共振譜（CARS）等新的等離子體診斷方法正在研究之中。用這些方法可以測(cè)定等離子體中的原子、分子及電子的狀態(tài)。
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